发明名称 |
STRUKTUREN UND ENTWURFSSTRUKTUREN MIKROELEKTROMECHANISCHER SYSTEME (MEMS) |
摘要 |
<p>Strukturen, Herstellungsverfahren und Entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) werden offenbart. Das Verfahren beinhaltet ein Aufschichten von Metall- und Isolatormaterialien auf einem Opfermaterial, das auf einem Substrat gebildet wird. Das Verfahren beinhaltet ferner das Maskieren der geschichteten Metall- und Isolatormaterialien. Das Verfahren beinhaltet ferner Bilden einer Öffnung in der Maskierung, die das Opfermaterial überlappt. Das Verfahren beinhaltet ferner Ätzen der geschichteten Metall- und Isolatormaterialien in einem einzigen Ätzprozess zum Bilden der Balkenstruktur, so dass die Kanten des geschichteten Metall- und Isolatormaterials aneinander ausgerichtet sind. Das Verfahren beinhaltet ferner Bilden eines Hohlraums um die Balkenstruktur durch ein Austreiben.</p> |
申请公布号 |
DE102012221818(A1) |
申请公布日期 |
2013.06.20 |
申请号 |
DE201210221818 |
申请日期 |
2012.11.29 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
CZABAJ, BRAIN M.;DEMUYNCK, DAVID A.;STAMPER, ANTHONY K. |
分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;H01H11/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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