双载子电晶体组件结构及其制造方法

摘要

一种双载子电晶体组件结构及其制造方法，所述双载子电晶体组件结构包括基板、闸极、源极、漏极、介电层、双极性半导体层与载子阻挡层。闸极配置于基板上。源极与漏极配置于基板上且位于闸极的两侧。介电层配置于闸极及源极与漏极之间。双极性半导体层至少配置于源极与漏极之间。载子阻挡层配置于双极性半导体层及源极与漏极之间。所述制造方法包括在基板上形成一源极与一漏极；于所述基板上形成一载子阻挡层及一双极性半导体层；于所述双极性半导体层上形成一介电层；以及于所述源极与所述漏极之间的所述介电层上形成一闸极，其中所述介电层将所述闸极、所述源极和所述漏极隔开。

主权项

一种双载子电晶体组件结构，其特征在于，包括：一闸极，配置于一基板上；一源极与一漏极，配置于所述基板上且位于所述闸极的两侧；一介电层，配置于所述闸极及所述源极与所述漏极之间；一双极性半导体层，至少配置于所述源极与所述漏极之间；以及一载子阻挡层，配置于所述双极性半导体层及所述源极与所述漏极之间。