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一种氮化铝的制备方法，其特征在于包括如下步骤：a)衬底清洗：将蓝宝石衬底经过清洗后送入生长室；b)衬底除气：由于蓝宝石衬底在空气中会吸附大量杂质气体污染物，在生长前对衬底进行除气处理，以除去残留的杂质气体,先将衬底在200℃除气10小时以上，然后在400℃～500℃除气2小时，最后在820℃的高温下除气10分钟；c)衬底氮化：将温度降至800℃，打开等离子体氮源对蓝宝石表面进行氮化处理，使蓝宝石衬底表面形成几个原子层厚的氮化铝原子层，以利于下一步氮化铝成核层的生长，氮化时间为8～12分钟，且氮气的流量和射频等离子体的功率分别设为2.55sccm和500瓦；d)氮化铝成核层生长：随后打开铝源的快门10秒左右，在蓝宝石衬底表面预先沉积一层铝原子层，同时打开铝源和氮源的快门，开始生长氮化铝成核层，以适应随后生长的氮化铝缓冲层与蓝宝石衬底之间的晶格失配，铝源的温度为1296℃，氮气的流量和射频等离子体的功率分别设为2.55sccm和375瓦，衬底温度为785℃，氮化铝成核层为25nm；e)氮化铝外延层生长：将衬底温度降至760℃，生长氮化铝外延层，铝源的温度为1288℃，氮气的流量和射频等离子体的功率分别设为2.55sccm和375W,氮化铝外延层的厚度为1μm,生长过程中，铝源和氮源一直保持供给不间断。 |
