位移传感器

摘要

本发明公开了一种位移传感器，其中振荡电路输出有与位移检测线圈的感应系数相对应的频率的振荡信号。振荡周期测量电路测量从振荡电路输出的振荡信号的周期，并且输出与所述测量的周期相对应的信号。平方电路计算并且输出振荡周期测量电路输出的信号的平方。通过计算和输出振荡信号的周期的平方，感应系数与电容分量的乘积的平方根分量被消除，因而，输出信号相对位移体的位移线性地变化。结果，输出信号相对于位移体的位移的线性可以被改善。

主权项

一种位移传感器，包括：圆筒形位移检测线圈(1)；电导体(2)，所述电导体设置为在位移检测线圈的径向方向上靠近到位移检测线圈(1)的内侧或者外侧，所述电导体(2)在位移传感线圈(1)的轴向方向上能够自由地移动；振荡电路(3)，所述振荡电路输出具有与位移检测线圈(1)的感应系数(L)相对应的频率(1/Tres)的振荡信号；振荡周期测量单元(4)，所述振荡周期测量单元输出与从振荡电路(3)输出的振荡信号的周期相对应的信号；和平方输出单元(5)，所述平方输出单元计算并且输出从振荡周期测量单元(4)输出的信号的平方；其特征在于，所述振荡电路(3)具有振幅限制电路，其将振荡信号的振幅限制到预定值；非磁体设置在所述位移传感线圈(1)内侧；和温度补偿单元(6)，所述温度补偿单元(6)将具有预定温度系数的偏移量加到平方输出单元(5)输出的平方中，由此补偿平方输出单元(5)输出的平方的温度变化。