| 发明名称 | 过滤器的清洁化方法、及被处理体的洗涤或干燥方法 | ||
| 摘要 | 一种过滤器的清洁化方法，其将用于过滤在被处理体的洗涤或干燥中的至少一者中使用的气体、液体或超临界状态的二氧化碳的过滤器有效地清洁化。用于过滤在被处理体的洗涤或干燥中的至少一者中使用的气体、液体或超临界状态的二氧化碳的过滤器的清洁化方法包括在用过滤器(13)过滤气体、液体或超临界状态的二氧化碳前，通过使二氧化碳流过过滤器(13)来对过滤器(13)进行清洁化。 | ||
| 申请公布号 | CN103167903A | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201180050067.0 | 申请日期 | 2011.02.18 |
| 申请人 | 奥加诺株式会社 | 发明人 | 菅原广;小野义宣 |
| 分类号 | B01D65/06(2006.01)I;B01D29/01(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;B01D61/14(2006.01)I;B01D61/16(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B01D65/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张玉玲 |
| 主权项 | 一种过滤器的清洁化方法，其是用于过滤在被处理体的洗涤或干燥中的至少一个过程中使用的气体、液体或超临界状态的二氧化碳的过滤器的清洁化方法，其包括，在用所述过滤器过滤所述气体、液体或超临界状态的二氧化碳前，通过使二氧化碳流过所述过滤器而对所述过滤器进行清洁化。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||