凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法。本发明利用高频高功率脉冲磁控溅射技术，在凸轮轴表面沉积纳米多层复合类金刚石薄膜。复合薄膜粘着层厚度为0.2～0.5μm、承载层厚度为1～3μm，表层厚度为1～3μm，复合薄膜凸轮轴表面结合力高达60N。

主权项

一种凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于该方法依次具体步骤为：A将凸轮轴进行常规除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次进行超声清洗；B将凸轮轴样品置于多靶溅射真空系统中并预抽真空至2×10‑3Pa；C高功率脉冲或高频脉冲磁控溅射粘接层，以金属Ti靶为阴极，工作气体为氩气，沉积时间10～30min；D反应磁控溅射承载层，以金属靶为阴极，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间30～60min；E反应溅射沉积成分渐变复合类金刚石薄膜，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间20～60min；自然冷却后得到多层类金刚石复合薄膜。