一种汇聚增强光响应超导单光子探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种汇聚增强光响应的超导单光子探测器及其制作方法，包括MgO衬底、超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层、金属阻挡环和金属光栅层。超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层和金属光栅层依次按照从下向上的顺序生长在MgO衬底上；金属阻挡环位于透明介质层的外围，并连接金属反射层和金属光栅层；金属光栅层为同心的金属多环结构；金属反射层为一个金属环与一个透明介质环组合而成，且两环同心。本发明通过将大面积范围内入射的信号光汇聚到很小面积的超导单光子探测器光敏面上来显著提升其响应，最大可提升30倍。

主权项

一种汇聚增强光响应超导单光子探测器，包括MgO衬底（1）、超导单光子探测器（2）、透明介质隔离层（3）、金属反射层（4）、透明介质层（5）、金属阻挡环（6）、和金属光栅层（7），其特征在于：在所述的MgO衬底（1）上按照从下向上的顺序依次生长超导单光子探测器（2）、透明介质隔离层（3）、金属反射层（4）、透明介质层（5）和金属光栅层（7）；所述的金属阻挡环（6）位于透明介质层（5）的外围，并连接金属反射层（4）和金属光栅层（7）；所述的透明介质隔离层（3）和透明介质层（5）为二氧化硅层；所述的金属反射层（4）为Ag反射层，由一个金属环与一个透明介质环组合而成，且两环同心，所述的金属阻挡环（6）为Ag阻挡环，所述的金属光栅层（7）为同心的多环金属Ag环结构光栅层。