一种对长带衬底加热的保温装置

摘要

本实用新型公开了一种对长带衬底加热的保温装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔；其还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口；在底侧的围壁上开设圆形的沉积孔；在前围壁上分别开设一组测温探头用孔；在后围壁上开设激光入射孔；在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂；该装置可使长带衬底进入加热区时温度迅速提升且稳定，镀膜均匀性好，节约能耗。

主权项

一种对长带衬底加热的保温装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，其特征在于：该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。