一种金属化学机械抛光浆料及其应用

摘要

本发明提供一种用于铜的化学机械抛光浆料及其应用，该浆料包括研磨颗粒、络合剂、氧化剂，腐蚀抑制剂，和至少一种磷酸酯类表面活性剂。使用本发明的浆料的可以保持较高的铜的去除速率，改善抛光后铜线的碟形凹陷和过抛窗口，抛光后的铜表面污染物少，无腐蚀等缺陷。

主权项

一种金属化学机械抛光浆料，包括研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂、氧化剂，其特征在于，还至少含有一种磷酸酯类表面活性剂。