一种生产掺三氧化二硼应力棒的装置

摘要

本实用新型涉及一种生产掺三氧化二硼应力棒的装置，该装置包括：生产掺杂三氧化二硼（B2O3）玻璃微粒预制棒装置，该装置包括：引杆、激光发生器、起始棒、激光、喷灯、用于喷入氢气和氧气、四氯化硅和三溴化硼，激光接收器、反应箱体、用于排出热化学气体的出口；烧结炉，包括引杆、位于烧结炉上端的排气口、可以容纳掺B2O3预制棒的马弗管、起始棒、高温炉、用于通入氯气和氦气的位于烧结炉下端的入口端；掺杂B2O3玻璃微粒预制棒烧结到起始端时保温不小于30min，然后将掺B2O3预制棒提到马弗管上端冷却不小于2小时后取出；退火炉，包括引杆、保温炉、位于保温炉内部的保温管；延伸装置，包括引杆、高温炉、位于高温炉底部的温径仪。

主权项

一种生产掺三氧化二硼应力棒的装置，其特征在于该装置包括：生产掺杂B2O3玻璃微粒预制棒装置，该装置包括：引杆（601），激光发生器（602），起始棒（603），激光（605），喷灯（606），用于喷入氢气和氧气（607）、四氯化硅和三溴化硼（608），激光接收器（609），反应箱体（610），用于排出热化学气体（611）的出口；烧结炉，包括引杆（701），位于烧结炉上端的排气口（702），可以容纳掺B2O3预制棒的马弗管（703），起始棒（704），高温炉（706），用于通入氯气和氦气的位于烧结炉下端的入口端（707）；掺杂B2O3玻璃微粒预制棒烧结到起始端时保温不小于30min，然后将掺B2O3预制棒提到马弗管上端冷却不小于2小时后取出；退火炉，包括引杆（801），保温炉（803），位于保温炉内部的保温管（804）；延伸装置，包括引杆（901），高温炉（904），位于高温炉底部的温径仪（905）。