一种硅片清洗系统

摘要

一种硅片清洗系统，其特征在于，包括硅片预清洗机，储水装置，硅片清洗机，第一输水管路，第二输水管路，其中，所述硅片预清洗机至少具有进水口和输水口，所述硅片清洗机至少具有出水口，所述储水装置至少具有进水口；所述硅片清洗机出水口的水平位置高于所述硅片预清洗机的进水口，硅片预清洗机进水口与硅片清洗机出水口通过第一输水管路相连，硅片预清洗机的输水口与储水装置的进水口通过第二输水管路相连。由于本实用新型提供的硅片清洗系统设计简单，施工成本低，维修维护频率低，且相比于现有技术的复杂系统，能源消耗也大大减少，降低了生产成本。

主权项

一种硅片清洗系统，其特征在于，包括硅片预清洗机，储水装置，硅片清洗机，第一输水管路，第二输水管路，其中，所述硅片预清洗机至少具有进水口和输水口，所述硅片清洗机至少具有出水口，所述储水装置至少具有进水口；所述硅片清洗机出水口的水平位置高于所述硅片预清洗机的进水口，硅片预清洗机进水口与硅片清洗机出水口通过第一输水管路相连，硅片预清洗机的输水口与储水装置的进水口通过第二输水管路相连。