一种晶体生长炉的保温罩结构及其制作方法

摘要

本发明涉及晶体生长领域，公开了一种晶体生长炉的保温罩结构，包括保温罩内壁，所述保温罩内壁为网格状结构，并在其表面喷有一层致密的陶瓷薄层。本发明采用高温等离子体喷镀方法在保温罩内壁表面喷上一层与保温罩内壁材料相同的致密陶瓷薄层，并对该陶瓷薄层进行机械打磨。在保温罩内壁喷涂一层致密陶瓷薄层，以使其内壁表面致密光滑，不易附着异物，且容易清洗，最终减少对晶体纯度的影响。

主权项

一种晶体生长炉的保温罩结构，包括保温罩内壁，其特征在于：所述保温罩内壁为网格状结构，并在其表面喷有一层致密的陶瓷薄层。