碳化硅横向肖特基结型微型核电池

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅横向肖特基结型微型核电池，包括由N型SiC基片构成的衬底和设置在衬底上部的N型SiC外延层，N型SiC外延层上设置有N型SiC欧姆接触掺杂区，N型SiC欧姆接触掺杂区上部设置有欧姆接触电极，N型SiC外延层上部设置有肖特基接触电极；N型SiC欧姆接触掺杂区、欧姆接触电极和肖特基接触电极均为由一条水平指条和多条垂直指条构成的指状结构，欧姆接触电极的垂直指条与肖特基接触电极的垂直指条相互交叉设置构成了叉指结构；N型SiC外延层上部除去欧姆接触电极和肖特基接触电极的区域设置有二氧化硅层。本实用新型设计新颖合理，能量转换效率和封装密度高，有利于集成，实用性强，推广应用价值高。

主权项

一种碳化硅横向肖特基结型微型核电池，其特征在于：包括由N型SiC基片构成的衬底（1）和设置在所述衬底（1）上部的N型SiC外延层（2），所述N型SiC外延层（2）上设置有N型SiC欧姆接触掺杂区（3），所述N型SiC欧姆接触掺杂区（3）上部设置有形状与所述N型SiC欧姆接触掺杂区（3）形状相同的欧姆接触电极（4），所述N型SiC外延层（2）上部设置有肖特基接触电极（5）；所述N型SiC欧姆接触掺杂区（3）、欧姆接触电极（4）和肖特基接触电极（5）均为由一条水平指条和多条垂直指条构成的指状结构，所述欧姆接触电极（4）的垂直指条与所述肖特基接触电极（5）的垂直指条相互交叉设置构成了叉指结构；所述N型SiC外延层（2）上部除去欧姆接触电极（4）和肖特基接触电极（5）的区域设置有二氧化硅层（6）。