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发明名称 Fiber coupled Interferometric displacement sensor
摘要
申请公布号 EP1521060(B1) 申请公布日期 2013.06.19
申请号 EP20040255527 申请日期 2004.09.13
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人 TOBIASON, JOSEPH D.
分类号 G01B11/00;G01D5/38;G01D5/347 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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