发明名称
摘要
申请公布号 JP5216699(B2) 申请公布日期 2013.06.19
申请号 JP20090146992 申请日期 2009.06.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/28;C30B23/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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