| 发明名称 | 一种用于感应加热的托盘及等离子体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于感应加热的托盘以及等离子体加工设备，包括导磁材料制作的托盘本体，在所述托盘本体内设有用以调节由电磁感应所产生的涡电流的路径和/或所述托盘本体的发热面积的调节部件，所述调节部件由抗磁且绝缘的材料制作而成。该用于感应加热的托盘可以使放置在托盘上的被加工工件均匀受热，从而可以改善被加工工件的加工质量。 | ||
| 申请公布号 | CN103160810A | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201110412838.8 | 申请日期 | 2011.12.09 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张秀川;董志清 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种用于感应加热的托盘，包括导磁材料制作的托盘本体，其特征在于，在所述托盘本体内设有用以调节由电磁感应所产生的涡电流的路径和/或所述托盘本体的发热面积的调节部件，所述调节部件由抗磁且绝缘的材料制作而成。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||