| 摘要 |
<p>본 발명은 화학기계적 연마에 이용되는 연마 부재 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연마 부재는, 상부면과 하부면을 갖는 지지층과, 상기 지지층 상부면에 부착된 복수의 기판 조각과, 상기 기판 조각의 연마 면으로부터 상기 기판 조각의 내부까지 형성되되 상기 연마 면에서 루프 형태로 노출된 경질막 패턴 및, 상기 경질막 패턴 내부에 형성되어 상기 경질막 패턴의 측벽을 지지하는 보호막 패턴을 포함한다. 상기 연마 부재의 제조 방법은 기판에 홀을 형성하는 단계와, 상기 기판 상부면과 상기 홀 측벽 및 저면에 경질막을 형성하는 단계와, 상기 경질막 위에 보호막을 형성하는 단계와, 상기 결과물의 상부면 또는 하부면 중 적어도 한쪽 면을 씨닝하여 상기 경질막 중 상기 홀 측벽에 형성된 부분을 노출하는 단계와, 상기 기판을 조각으로 나누는 단계 및, 상기 기판 조각을 지지층에 부착하는 단계를 포함한다.</p> |
