发明名称 Laserhärten von GaN-LEDs mit reduzierten Mustereffekten
摘要 <p>Die Offenbarung richtet sich auf das Laserhärten beziehungsweise Ausheilen von lichtemittierenden GaN-Dioden (LEDs) mit reduzierten Mustereffekten. Ein Verfahren umfasst das Bilden länglicher leitfähiger Strukturen oben auf entweder einer n-GaN-Schicht oder einer p-GaN-Schicht einer GaN-LED-Struktur, wobei die länglichen leitfähigen Strukturen lange und kurze Abmessungen aufweisen und voneinander beabstandet sind und im Wesentlichen in den langen Abmessungen ausgerichtet sind. Das Verfahren umfasst ebenfalls das Erzeugen eines P-polarisierten Härtungslaserstrahls beziehungsweise Ausheillaserstrahles, der eine Härtungswellenlänge beziehungsweise Ausheilwellenlänge aufweist, die größer ist als die kurze Abmessung. Das Verfahren umfasst ebenfalls das Bestrahlen entweder der n-GaN-Schicht oder der p-GaN-Schicht der GaN-LED-Struktur durch die leitfähigen Strukturen mit dem P-polarisierten Härtungslaserstrahl beziehungsweise Ausheillaserstrahl, einschließlich dem Ausrichten des Härtungslaserstrahls beziehungsweise Ausheillaserstrahles relativ zu den leitfähigen Strukturen, so dass die Polarisationsrichtung senkrecht zur langen Abmessung der leitfähigen Strukturen ist.</p>
申请公布号 DE102012022929(A1) 申请公布日期 2013.06.13
申请号 DE20121022929 申请日期 2012.11.23
申请人 ULTRATECH, INC. 发明人 HAWRYLUK, ANDREW M.;WANG, YUN
分类号 H01L33/38;H01L33/32 主分类号 H01L33/38
代理机构 代理人
主权项
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