HMDS自动供应系统及其自动供应的方法

摘要

本发明提供一种HMDS自动供应系统，包括：储液罐，内有HMDS储液瓶；鼓泡罐，通过管道与储液罐相连，管道上有HMDS供应阀；第一加压气体提供单元，通过管道与储液罐相连，管道上有第一加压阀；鼓泡气体提供单元，通过管道与鼓泡罐相连；第二加压气体提供单元，通过管道与鼓泡罐相连；泄压管道，将储液罐和鼓泡罐与大气连通，泄压管道上有第一/第二泄压阀；液位下限/上限检测传感器，位于鼓泡罐外侧接近其底部/顶部的位置处；供应控制单元，与液位下限/上限检测传感器、第一加压阀、HMDS供应阀、第一/第二泄压阀相连。另外，本发明还提供一种HMDS自动供应的方法。本发明实现了将HMDS液体自动供应到鼓泡罐内的过程，提高了光刻设备的利用率，降低了制造成本。

主权项

一种HMDS自动供应系统（200），包括：储液罐（201），其内放置有HMDS储液瓶（202）；鼓泡罐（203），通过HMDS供应管道（204）与所述储液罐（201）相连接，所述HMDS供应管道（204）伸入所述HMDS储液瓶（202）内的液态HMDS中，所述HMDS供应管道（204）上设置有HMDS供应阀（205）；第一加压气体提供单元（210），通过第一加压气体提供管道（211）与所述储液罐（201）相连接，用于向所述储液罐（201）通入第一加压气体加压，以将所述HMDS储液瓶（202）中的液态HMDS供应到所述鼓泡罐（203）中，所述第一加压气体提供管道（211）上设置有第一加压阀（206）；鼓泡气体提供单元（212），通过鼓泡气体提供管道（213）与所述鼓泡罐（203）相连接，所述鼓泡气体提供管道（213）伸入所述鼓泡罐（203）内的液态HMDS中，用于将所述液态HMDS鼓泡形成气态状；第二加压气体提供单元（214），通过第二加压气体提供管道（215）与所述鼓泡罐（203）相连接，用于向所述鼓泡罐（203）加压，通过气态HMDS供应管道（216）将所述气态状的HMDS输出到工艺腔内；泄压管道（217），分别将所述储液罐（201）和所述鼓泡罐（203）与大气相连通，用于将所述储液罐（201）和所述鼓泡罐（203）内的高压气体泄出并恢复至大气压，所述泄压管道（217）上设置有第一泄压阀（207）和第二泄压阀（208），用于分别控制所述储液罐（201）和所述鼓泡罐（203）进行泄压；液位下限检测传感器（221），位于所述鼓泡罐（203）外侧接近其底部的位置处，用于当所述鼓泡罐（203）内的所述液态HMDS的量达到预定液位下限时，发出所述鼓泡罐（203）已达液位下限的信号；液位上限检测传感器（222），位于所述鼓泡罐（203）外侧接近其顶部的位置处，用于当所述鼓泡罐（203）内的所述液态HMDS的量达到预定液位上限时，发出所述鼓泡罐（203）已达液位上限的信号；以及供应控制单元（230），分别与所述液位下限检测传感器（221）、所述液位上限检测传感器（222）、所述第一加压阀（206）、所述HMDS供应阀（205）、 所述第一泄压阀（207）和所述第二泄压阀（208）相连接，用于当所述液位下限检测传感器（221）检测到所述鼓泡罐（203）内的所述液态HMDS的量达到预定液位下限时，控制开启所述第一加压阀（206）、所述HMDS供应阀（205）和所述第二泄压阀（208）；以及用于当所述液位上限检测传感器（222）检测到所述鼓泡罐（203）内的所述液态HMDS的量达到预定液位上限时，控制关闭所述第一加压阀（206）、所述HMDS供应阀（205）和所述第二泄压阀（208），并控制开启所述第一泄压阀（207），待所述储液罐（201）内的高压气体泄出并恢复至大气压之后，控制关闭所述第一泄压阀（207）。