一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法

摘要

本发明公开了一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，采用电磁辐射在线检测分析设备进行监测，根据准分子激光系统的结构和电路特点，选择合适种类的探测器，并设定检测方位、检测距离、检测时间，利用电磁辐射在线检测分析设备探测来自准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射信号；探测器探测到的电磁辐射信号被信号采集处理器采集后得到电磁辐射数据，信号显示和分析仪器中进行分析后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源的电磁辐射信号强度、传输和变化特性。

主权项

一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：采用电磁辐射在线检测分析设备进行监测，所述电磁辐射在线检测分析设备由信号显示和分析仪器、接入信号显示和分析仪器的信号采集处理器、分别接入信号采集处理器的多个探测器构成；根据准分子激光系统的结构和电路特点，选择合适种类的探测器，并设定在准分子激光系统上的检测方位、电磁辐射在线检测分析设备中探测器距离检测方位的检测距离、电磁辐射在线检测分析设备的检测时间，利用电磁辐射在线检测分析设备中的探测器探测来自准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射信号；探测器探测到的电磁辐射信号被信号采集处理器采集后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射数据，电磁辐射数据送入信号显示和分析仪器中进行分析后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源的电磁辐射信号强度、传输和变化特性。