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发明名称
摘要
申请公布号 JP5206028(B2) 申请公布日期 2013.06.12
申请号 JP20080052515 申请日期 2008.03.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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