基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔

摘要

本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。所述腔体内设置两套风机叶轮来驱动气体，以保证每次经过放电区的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮为贯流风机叶轮。本发明通过一个单腔结构实现双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。同时，在放电腔中采用的叶轮中风叶的布局方式，可以提高风机轴向的均匀性，并降低风机系统的噪声。

主权项

一种单腔双电极放电腔，包括腔体(1)和两套主放电电极，其特征在于：所述腔体(1)包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的形状，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通；所述两套主放电电极分别位于左右两室，且其放电区(2)分别位于所述左右两室的上部；所述腔体(1)内设置了两套风机叶轮(15)来驱动气体，以保证每次经过放电区(2)的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮(15)为贯流风机叶轮，其由多个叶轮节组成，在所述惯流风机叶轮的两端各连接一端法兰(24)，每个叶轮节之间均有一中盘(23)，每两个中盘(23)之间固定有周向布置的多个风叶(22)，每个叶轮节的相邻的两片风叶(22)之间呈一角度排列。