发明名称 Method of selectively electrolytically etching semiconductor silicon materials
摘要
申请公布号 US2998362(A) 申请公布日期 1961.08.29
申请号 US19580767703 申请日期 1958.10.16
申请人 TRANSITRON ELECTRONIC CORPORATION 发明人 HALL RODERIC E.
分类号 H01L21/3063 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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