一种透明光学元件的快速激光预处理装置

摘要

本实用新型公开了一种透明光学元件的快速激光预处理装置，具体是相对透明光学元件的表面和背面各设置一系列反射装置，预处理激光光束入射到透明光学元件表面并穿透待处理样品后从待处理样品背面出射，出射后的激光光束经后反射装置反射后再次照射到被处理样品背面上并穿透待处理样品后从待处理样品表面出射；如此类推，预处理激光光束经前反射装置和后反射装置的相互反射作用，使预处理激光光束多次经过透明光学元件，对元件的表面、背面和内部均进行并行的多次辐照预处理，从而大幅度提高透明光学元件激光预处理速度。本实用新型可以用于光学表面及亚表面缺陷修复、体内特性激光处理等多个领域，特别适用于对大口径透明光学元件进行快速激光预处理以提高其抗激光破坏能力。

主权项

一种透明光学元件的快速激光预处理装置，包括有相对透明光学元件表面设置的激光光源，其特征在于：还包括有相对透明光学元件表面设置的一组前反射装置和相对透明光学元件背面设置的一组后反射装置。