具有静电放电装置的探针检测机台

摘要

本发明系揭露一种具有静电放电装置的探针检测机台，该机台除了能以针压组件导接致能半导体晶粒而侦测该晶粒之电气性能外，还可测试该晶粒之静电耐受能力。虽然静电在仪器输出端的波形符合法规，但是加长传输距离即发生严重失真的现象，故利用载殊构造的传输装置在一定的传输距离内，藉由传输线阻抗匹配，降低电能传送过程中产生的阻尼震荡(damped oscillation)，使静电放电装置瞬间释放的高压静电经传输后，仍能维持良好波形而冲击受测物。