| 摘要 |
1. Способ получения трехмерных объектов произвольной формы методом интерференционной литографии, характеризующийся тем, что осуществляют предварительный расчет амплитуд и фаз интерферируемых когерентных волн по заданной форме объекта, освещают фоточувствительный материал последовательностью групп интерферирующих когерентных волн с получением трехмерного распределения плотности поглощенной световой энергии, проявляют полученный фотоматериал и получают твердые трехмерные объекты.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтезируют одновременно множество идентичных объектов произвольной формы, упорядоченных в двухмерную сетку.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что направление интерферирующих волн задают таким образом, чтобы проекции волновых векторов на некоторую плоскость располагаются в периодической двухмерной сетке.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с двух сторон.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с одной стороны.6. Способ по п.1, отличающийся тем, что расчет амплитуд волн корректируют с учетом конечного поглощения интерферирующих волн в слое фоточувствительного материала.7. Способ по п.1, отличающийся тем, что расположение одновременно синтезируемых объектов осуществляют в плоскости, перпендикулярной слою фоточувствительного материала и/или направлению освещения.8. Способ по п.7, отличающийся тем, что трехмерное расположение идентичных объектов осуществляют при перемещении слоя фоточувствительного материала параллельно его плоскости.9. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствител |
