INFRARED DETECTOR MADE UP OF SUSPENDED BOLOMETRIC MICRO-PLATES

摘要

Un détecteur bolométrique matriciel pour la détection d'un rayonnement électromagnétique dans une gamme prédéterminée de longueurs d'onde infrarouges ou térahertz, comprenant un substrat (16), et une matrice de micro-planches bolométriques (14) pour la détection dudit rayonnement, suspendues au dessus du substrat à l'aide d'éléments de soutien (18). Le détecteur comporte une membrane (22) disposée au dessus de chaque micro-planche (14), et dans laquelle sont formés des motifs (26) d'indice de réfraction inférieur à celui de la membrane (22). Les motifs (26) sont placés périodiquement selon au moins un axe de la membrane (22), selon une période inférieure ou égale à ? _n, où ? est une longueur d'onde à détecter, et n est l'indice de réfraction moyen du milieu séparant la micro-planche (14) de la membrane (22). La largeur des motifs (26) selon ledit axe augmente depuis un emplacement central de la membrane (22) en direction de la périphérie de celle-ci.