发明名称 HOMOADAMANTANE DERIVATIVES, PROCESS FOR PREPARING SAME, AND PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要 A compound represented by the following formula (I), wherein R1 is a hydrogen atom, a halogen atom, a methyl group or a trifluoromethyl group.
申请公布号 US2013143157(A1) 申请公布日期 2013.06.06
申请号 US201113816071 申请日期 2011.07.26
申请人 TANAKA SHINJI;UENOYAMA YOSHITAKA;ONO HIDETOSHI;KAWANO NAOYA;ITO KATSUKI;IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 TANAKA SHINJI;UENOYAMA YOSHITAKA;ONO HIDETOSHI;KAWANO NAOYA;ITO KATSUKI
分类号 G03F7/004;C07D313/06 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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