一种单晶炉及其阻气筒

摘要

本实用新型提供了一种单晶炉的阻气筒，其中，阻气筒套设在单晶炉的坩埚托杆和托杆护套的外侧，且阻气筒的顶端与单晶炉的反射板密封接触，阻气筒的底端与单晶炉的底部隔热部件密封接触。本实用新型提供的阻气筒，其避免了从反射板和底部隔热部件之间流过的硅蒸汽与坩埚托杆和托杆护套接触，即使硅蒸汽从反射板上方进入阻气筒内部，硅蒸汽也无法在阻气筒内流通，硅蒸汽的气流就不会再从反射板上方进入阻气筒内，而是流向阻气筒外的导通路径，从而减少甚至避免了硅蒸汽在坩埚托杆和托杆护套上凝结，避免了坩埚托杆与托杆护套发生摩擦而引起硅溶液振动，使得单晶硅的拉制过程能够更加顺利完成。本实用新型还提供了一种具有上述阻气筒的单晶炉。

主权项

一种单晶炉的阻气筒，其特征在于，所述阻气筒（1）套设在单晶炉的坩埚托杆（2）和托杆护套（3）的外侧，且所述阻气筒（1）的顶端与单晶炉的反射板（4）密封接触，所述阻气筒（1）的底端与单晶炉的底部隔热部件（5）密封接触。