发明名称 |
一种黑色Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>陶瓷涂层的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域,具体涉及一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理;步骤(3),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(4),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出黑色Y2O3涂层。本发明将原始Y2O3粉末在二次造粒过程中经H2还原成黑色,再将其经等离子喷涂至基材,制备出黑色Y2O3陶瓷涂层,经本发明制备的黑色Y2O3陶瓷涂层具有耐刻蚀、耐脏的性能,且制造成本较低。 |
申请公布号 |
CN103132002A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201110396423.6 |
申请日期 |
2011.12.02 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔 |
分类号 |
C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京市德权律师事务所 11302 |
代理人 |
刘丽君 |
主权项 |
一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理;步骤(3),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(4),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出黑色Y2O3涂层。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |