发明名称 一种黑色Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>陶瓷涂层的制备方法
摘要 本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域,具体涉及一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理;步骤(3),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(4),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出黑色Y2O3涂层。本发明将原始Y2O3粉末在二次造粒过程中经H2还原成黑色,再将其经等离子喷涂至基材,制备出黑色Y2O3陶瓷涂层,经本发明制备的黑色Y2O3陶瓷涂层具有耐刻蚀、耐脏的性能,且制造成本较低。
申请公布号 CN103132002A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201110396423.6 申请日期 2011.12.02
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔
分类号 C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I 主分类号 C23C4/10(2006.01)I
代理机构 北京市德权律师事务所 11302 代理人 刘丽君
主权项 一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理;步骤(3),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(4),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出黑色Y2O3涂层。
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