三维形状测量装置及测量方法

摘要

本发明公开一种可以提高测量精度的三维形状测量装置及测量方法。三维形状测量装置包含：投影部，产生并照射光栅图案光；X-Y轴移动工作台，移动测量对象；光束分离部，分离光栅图像或者照明图像并使其透过；第一圆型照明部，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；多个反射镜，沿着圆周方向相隔设置，当被测量对象反射的光栅图像或者照明图像照射所述多个反射镜时，对其进行反射；第二圆型照明部，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；多个成像部，拍摄从光束分离部和多个反射镜照射的光栅图像或者照明图像；控制部，接收所述多个成像部拍摄的光栅图像或者照明图像，以计算测量对象的三维形状。

主权项

一种三维形状测量装置，其特征在于，包括：投影部，产生并照射光栅图案光；X‑Y轴移动工作台，设置于所述投影部的下侧，移动测量对象；光束分离部，设置于所述投影部和所述X‑Y轴移动工作台之间，分离光栅图像或者照明图像并使其透过；第一圆型照明部，设置于所述光束分离部的下侧，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；多个反射镜，在所述光束分离部的下侧，沿着圆周方向相隔设置，当被测量对象反射的光栅图像或者照明图像照射所述多个反射镜时，对其进行反射；第二圆型照明部，设置于所述多个反射镜的下侧，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；多个成像部，分别设置于所述光束分离部和所述多个反射镜的一侧，拍摄从光束分离部和多个反射镜照射的光栅图像或者照明图像；控制部，接收所述多个成像部拍摄的光栅图像或者照明图像，以计算测量对象的三维形状。