| 主权项 |
一种工件抽样检验的方法，其特征在于，包含：获取一生产机台的多组历史制程参数数据；从一量测机台取得多个历史量测值，其中该多个历史量测值分别为根据该多组历史制程参数数据所生产的工件的量测值；使用该多组历史制程参数数据和该多个历史量测值来建立一推估模式，其中该推估模式的建立根据一推估演算法；使用该多组历史制程参数数据和该多个历史量测数据来建立一参考模式，其中该参考模式的建立根据一参考演算法，该推估演算法与该参考演算法不同；输入该多组历史制程参数数据至该推估模式，而计算出多个历史虚拟量测值；输入该多组历史制程参数数据至该参考模式，而计算出多个历史参考预测值；分别计算该多个历史虚拟量测值的分配与该多个历史参考预测值的分配之间的重叠面积而产生多个历史信心指标值，其中当重叠面积愈大，则历史信心指标值愈高，代表所对应至该多个历史虚拟量测值的可信度愈高；根据该多个历史虚拟量测值、该多个历史参考预测值和该多个历史量测值来计算出一信心指标门槛值；收集该生产机台所送出的一卡匣内的多个工件的制程参数数据；输入该多个工件的制程参数数据至该推估模式，而计算出该多个工件的多个虚拟量测值；输入该多个工件的制程参数数据至该参考模式，而计算出该多个工件的多个参考预测值；分别计算该多个工件的该多个虚拟量测值的分配与该多个参考预测值的分配之间的重叠面积而产生该多个工件的多个信心指标值，其中当重叠面积愈大，则信心指标值愈高，代表所对应至该多个虚拟量测值的可信度愈高；自该多个工件中选取其信心指标值小于该信心指标门槛值的至少一第一工件；以及将该多个工件的该至少一第一工件送至该量测机台以进行检测。 |
