一种可降低误差的传感器

摘要

本实用新型公开了一种可降低误差的传感器，传感器结构包括：第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。该传感器的优点：第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上，能够避免膜片位置的不确定性问题，遏制机械迟滞偏移造成的误差，改善压力传感器的测量精度。

主权项

一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。