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发明名称
摘要
申请公布号
JP5203391(B2)
申请公布日期
2013.06.05
申请号
JP20090546166
申请日期
2008.08.27
申请人
发明人
分类号
G02F1/1368;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/786
主分类号
G02F1/1368
代理机构
代理人
主权项
地址
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