发明名称 |
一种传感器 |
摘要 |
本实用新型公开了一种传感器,传感器结构包括:数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下:数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压;压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲;数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压;测量膜片上的压力。本实用新型可以避免膜片位置的不确定性问题,减小机械迟滞误差,改善压力传感器的测量精度。 |
申请公布号 |
CN202974517U |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201220740899.7 |
申请日期 |
2012.12.26 |
申请人 |
南京高华科技有限公司 |
发明人 |
李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群 |
分类号 |
G01L1/16(2006.01)I;G01L9/08(2006.01)I |
主分类号 |
G01L1/16(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种传感器,其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成,其中衬底上设置有膜片,压电执行器位于膜片的表面中央,数模转换器通过导线连接到压电执行器上。 |
地址 |
210049 江苏省南京市栖霞区马群科技园神马路2号 |