发明名称 用于微电子装置中接合的具有痕量加入物的3N铜线
摘要 一种用于微电子学中接合的具有痕量加入物的3N铜线,其包含Ag、Ni、Pd、Au、Pt和Cr的群组中的一者或一者以上作为耐腐蚀性加入材料,其中所述耐腐蚀性加入材料的浓度在约90wt.ppm到约980wt.ppm之间。
申请公布号 CN103137237A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201210511460.1 申请日期 2012.12.03
申请人 贺利氏材料科技公司 发明人 穆拉利·萨兰加帕尼;杨平熹;欧根·米尔克
分类号 H01B1/02(2006.01)I;H01L23/49(2006.01)I 主分类号 H01B1/02(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 张世俊
主权项 一种用于微电子学中接合的具有痕量加入物的3N铜线,其包含Ag、Ni、Pd、Au、Pt和Cr的群组中的一者或一者以上作为耐腐蚀性加入材料,其中所述耐腐蚀性加入材料的浓度在约90wt.ppm到约980wt.ppm之间。
地址 德国哈瑙