三维微机电传感器

摘要

本发明提出一种三轴微机电传感器，包含多个可移动的第一电极及多个可移动的第二电极，以及多个固定的第三电极及多个固定的第四电极。该第一电极与其相邻该第三电极构成至少一第一电容及至少一第二电容，及该第二电极与其相邻该第四电极构成至少一第三电容。该第一电容的电容值改变反应该质量块于一第一轴方向的位移，该第二电容的电容值改变反应该质量块于一第二轴方向的位移，该第三电容的电容值改变反应该质量块于一第三轴方向的位移，及该第一、第二及第三轴定义一三维坐标系统。

主权项

一种三轴微机电传感器，其特征在于，包含：一基板；一固定框部，固定于该基板上；一质量块；至少一弹簧件，连接该固定框部及该质量块；多个第一电极及多个第二电极，分别自该质量块朝向该固定框部延伸；以及多个第三电极及多个第四电极，分别自该固定框部朝向该质量块延伸，其中该第一电极与其相邻该第三电极构成至少一第一电容及至少一第二电容，及该第二电极与其相邻该第四电极构成至少一第三电容；其中该第一电容的电容值改变反应该质量块于一第一轴方向的位移，该第二电容的电容值改变反应该质量块于一第二轴方向的位移，该第三电容的电容值改变反应该质量块于一第三轴方向的位移，及该第一、第二及第三轴定义一三维坐标系统。