7N超高纯液氨无泵充瓶装置

摘要

7N超高纯液氨无泵充瓶装置，它涉及光电子级超高纯液氨的充瓶装置和方法。它包含产品罐、气化器、气化器液位计、气化器进氨阀、气化器加热器、气化器控温仪、产品罐压力传感器、产品罐液位计、液氨进料阀、充瓶阀和充瓶系统等。本专利采用气化器加热器加热气化器内的超高纯液氨，使气化器内氨的压力提高，气化器顶部与产品罐顶部连通，产品罐内的压力相应的提高，根据需要设定和控制热水温度，以此来得到合适的产品罐压力，实现无泵免污染充瓶。

主权项

7N超高纯液氨无泵充瓶装置，其特征在于它包含产品罐(1)、气化器(2)、气化器液位计(3)、气化器进氨阀(4)、气化器加热器(5)、气化器控温仪(6)、产品罐压力传感器(7)、产品罐液位计(8)、液氨进料阀(9)、充瓶阀(10)、充瓶系统(11)；产品罐(1)分别与气化器(2)、产品罐压力传感器(7)、产品罐液位计(8)和充瓶系统(11)连接，气化器(2)分别与气化器控温仪(6)、气化器加热器(5)和气化器液位计(3)连接。