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<p>가압 기체의 통기 경로의 전 영역에서 층류 상태가 유지되도록, 오리피스, 통기홈 등을 구성함으로써, 진동의 발생을 방지할 수 있는 고정밀도의 정압 베어링 장치 및 정압 베어링 장치를 구비한 스테이지를 실현한다. 정압 베어링 장치(1)에 있어서, 가압 기체의 통기 경로의 전 영역에서 층류 상태가 유지되도록, 오리피스(14), 통기홈(11) 및 배기홈(12)의 형상 등의 구성을 설계한 것으로, 통기홈(11)의 폭방향 단면 형상이 슬라이딩면(10a)으로부터 멀어지는 방향으로 볼록 곡선을 형성하며, 또한 통기홈(11)을, 오리피스(14)를 둘러싸고 환 형상으로 형성된 환형상홈(11b)과, 오리피스(14)를 중심으로 환형상홈(11b)을 향해 방사 형상으로 연장 설치되며 환형상홈(11b)과 오리피스(14)를 연통하는 복수의 분배홈(11a)으로 이루어지고, 이동체(10)의 이동 방향 중심선에 대해 대칭이 되도록 형성한다.</p> |
