| 摘要 |
<p>기판 검사 및 리페어 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는, 기판이 검사유닛에 지지되어 고정되고, 검사유닛의 프로브가 기판의 하측에서 승강하면서 기판의 전극라인에 접속 또는 비접속된다. 즉, 작은 크기 및 작은 부피를 가지는 프로브가 승강하고, 프로브가 검사유닛의 내부에 설치되어 있으므로, 기판 검사 및 리페어 장치의 설치 공간이 감소되는 효과가 있다. 그리고, 기판을 이동시키기 위한 고가의 장치가 필요 없으므로, 원가가 절감된다.</p> |
