具有纹理形成面的硅基板及其制造方法、包含硅基板的太阳能电池

摘要

本发明的目的在于，通过使具有纹理形成面的硅基板的纹理微细化，而实现太阳能电池用的硅基板的薄层化。本发明提供一种硅基板，其具有50μm以下的厚度且为基板表面定向（111）的硅基板，该硅基板具有形成有纹理的纹理形成面。这样的硅基板由包含如下工序的工艺来制造：工序A，准备优选具有50μm以下的厚度、基板表面定向（111）的硅基板；以及工序B，对所述准备好的硅基板的基板表面喷射包括含氟气体的蚀刻气体而形成纹理。

主权项

硅基板的制造方法，该硅基板具有纹理形成面且具有50μm以下的厚度，该硅基板的制造方法包括如下工序：工序A，准备具有50μm以下的厚度的、基板表面定向（111）的硅基板；以及工序B，对所述准备好的硅基板的基板表面喷射包括含氟气体的蚀刻气体，从而形成纹理。