硅片盒

摘要

本实用新型涉及半导体制造装备技术领域，尤其是一种硅片盒，包括硅片盒本体，能够拆除地安装在所述硅片盒本体上的电子标签支架，以及位于硅片盒本体与电子标签支架之间的纸本存放袋。所述纸本存放袋安装在FOUP上后，使得留言单、流程单可以安全存放到FOUP上，随FOUP一起在生产线上流通。并且安装后的FOUP能够进入AMHS搬送，能够进入stocker和设备作业。本实用新型尤其适用于建线初期、实验过程中扩展FOUP功能，提供纸本单据随FOUP携带跟进功能。

主权项

一种硅片盒，包括硅片盒本体，能够拆除地安装在所述硅片盒本体上的电子标签支架，其特征在于：还包括位于硅片盒本体与电子标签支架之间的纸本存放袋。