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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Erhöhung der Produktivität und der Anlagenauslastung von Vakuumbeschichtungsanlagen
摘要
申请公布号
DE102006026317(B4)
申请公布日期
2013.05.23
申请号
DE20061026317
申请日期
2006.06.02
申请人
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
发明人
LEUPOLD, JAN;GOTTSMANN, LUTZ;GROSER, GOETZ
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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