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<p>본 발명은 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법이 제공된다. 폴리이미드막 도포 장치는 인쇄 테이블, 잉크젯 헤드, 폴리이미드액 공급 탱크, 와이퍼를 포함하며, 잉크젯 헤드의 분사면에 접촉하는 와이퍼의 일면은 소정의 경사각을 갖는 경사면으로 구성된다. 폴리이미드막 도포 방법은 어레이 기판 또는 컬러 필터 기판이 놓여지는 단계와, 폴리이미드액 공급 탱크에 로딩시키는 단계와, 폴리이미드액을 기판 상에 분사하는 단계와, 경사면을 갖는 와이퍼를 이용해 잉크젯 헤드의 노즐들을 닦아내는 단계를 포함한다.</p> |
