发明名称 Feldeffekttransistor eines Mehrfingertyps
摘要 Ein Feldeffekttransistor, umfassend: einen Kanalbereich (12), erstellt auf einem Verbindungs-Halbleitersubstrat (11); eine Gate-Elektrode (13), erstellt auf dem Kanalbereich (12) eine Source-Elektrode (14) und eine Drain-Elektrode (15), alternierend angeordnet auf dem Kanalbereich (12) mit einer Gate-Elektrode (13) zwischen der Source-Elektrode (14) und der Drain-Elektrode (15), wobei die Source-Elektrode (14) und die Drain-Elektrode (15) angeordnet sind mit den Gate-Elektroden (13) zwischen der Source-Elektrode (14) und der Drain-Elektrode (15), und die entsprechende Anzahl der Source-Elektrode (14), Drain-Elektrode (15) und Gate-Elektrode (13) mindestens zwei ist; ein mit einer externen Schaltung zu verbindendes Bonding-Pad (18); und eine Luftbrücke (20) zum Verbinden des Bonding-Pads (18) mit der Source-Elektrode (14) oder der Drain-Elektrode (15) entlang einer Verbindungsrichtung, wobei die Luftbrücke (20) einen Elektrodenkontaktanschluss (20a) aufweist, der mit der Source-Elektrode (14) oder der Drain-Elektrode (15) verbunden ist, ein Pad-Kontaktanschluss (20b), der mit dem Bonding-Pad (18) verbunden ist, und eine freitragende Kontaktleitung (20c) zum Verbinden des Elektrodenkontaktanschlusses (20a) mit dem Pad-Kontaktanschluss (20b), wobei die Querschnittsfläche des Elektrodenkontaktanschlusses (20a) in einer Richtung senkrecht zu der Verbindungsrichtung des Pad-Kontaktanschlusses (20b), der freitragenden Kontaktleitung (20c) und des Elektrodenkontaktanschlusses (20a) geringer als die Querschnittsfläche der freitragende Kontaktleitung (20c) ist.
申请公布号 DE112007000175(B4) 申请公布日期 2013.05.23
申请号 DE20071100175T 申请日期 2007.07.12
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KOBAYASHI, MASAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L29/41;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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