半导体设备中的射频功率传输系统

摘要

本发明的实施例提供一种设备，该设备提供在处理腔室内的良好RF均一性。在一个实施例中，该设备包括基板支撑组件、终端及介电绝缘体。基板支撑组件具有通道，而通道沿着中心轴形成。提供RF传输线。该RF传输线具有大致垂直部分以及大致水平部分，其中，终端耦接至RF传输线的大致水平部分。介电绝缘体环绕RF传输线的大致水平部分。介电绝缘体具有第一开口，而终端通过第一开口。

主权项

一种基板支撑组件，包括：基板支撑组件，包括中央通道，所述中央通道沿着所述基板支撑组件的中心轴形成；RF传输线，包括大致垂直部分以及大致水平部分，所述大致水平部分具有第一端和第二端，所述第二端耦接至所述大致垂直部分，所述大致垂直部分从所述大致水平部分向下延伸；终端，通过所述基板支撑组件的所述中央通道而耦接至所述RF传输线的所述大致水平部分的所述第一端；以及介电绝缘体，环绕所述RF传输线的所述大致水平部分，其中，所述介电绝缘体具有第一开口，所述终端设置穿过所述第一开口。