发明名称 Verfahren zur Herstellung einer dotierten Zone in einem Halbleiterkörper
摘要
申请公布号 CH371187(A) 申请公布日期 1963.08.15
申请号 CH19570045706 申请日期 1957.05.03
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 MICHAEL SMITS,FRIEDOLF
分类号 C23C16/00;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/24;H01L29/36 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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