| 发明名称 |
APPARATUS FOR GENERATING PLASMA BY PLASMA-GUIDED MICROWAVE POWER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0796355(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.22 |
| 申请号 |
EP19960906164 |
申请日期 |
1996.01.11 |
| 申请人 |
DEPOSITION SCIENCES, INC. |
发明人 |
BOLING, NORMAN L. |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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