带升降式对中装置的离心机

摘要

本发明涉及半导体领域，具体为一种带升降式对中装置的离心机，它是在半导体工业中，需要旋转加工的时候所使用的离心机。该离心机的真空吸盘外侧设置可升降的对中装置，放置晶片时，晶片置于对中装置内侧，对中装置在上位，晶片背面与真空吸盘接触，真空吸盘与磁流体密封装置相连。当工艺要求对中要求较高时，可以使用本发明的离心机，保证晶片中心和离心机的旋转中心一致，消除晶片和离心机中心不一致对胶膜均匀性产生的影响。本发明使用升降式对中，没有横向位移，可以提高对中精度，离心机部分固定在本体上不动，这样就提高了离心机的稳定性，减少了震动，同时，由于只有一个对中的上下动作，能节约机构运动的时间，提高设备产能。

主权项

一种带升降式对中装置的离心机，其特征在于：该离心机的真空吸盘外侧设置可升降的对中装置，放置晶片时，晶片置于对中装置内侧，对中装置在上位，晶片背面与真空吸盘接触，真空吸盘与磁流体密封装置相连；所述离心机还设有轴套，底座内侧依次设置无油衬套、轴套和磁流体密封装置，轴套位于磁流体密封装置与无油衬套之间，对中装置位于可沿磁流体密封装置和无油衬套上下滑动的轴套上。