用于从等离子束中移除大粒子的过滤器

摘要

用于从等离子束中过滤大粒子的过滤器，该过滤器包括用于运送等离子束的弯曲管道，弯曲管道包括中间部分，中间部分的一端连接至具有设置于入口平面上的纵向轴线的入口部分并且另一相对端连接至具有设置于出口平面上的纵向轴线的出口部分，入口部分允许包含大粒子的等离子束以入射方向朝向中间部分行进，出口部分允许等离子束从中间部分以出射方向行进，中间部分被配置为使入射方向以超过90°的角度偏离至出射方向，以便当等离子束穿过中间部分时从等离子束中移除大粒子，其中入口平面与出口平面被设置为彼此成偏移角。

主权项

用于从等离子束中过滤大粒子的过滤器，所述过滤器包括用于运送所述等离子束的弯曲管道，所述弯曲管道包括中间部分，所述中间部分的一端连接至具有设置在入口平面上的纵向轴线的入口部分并且另一相对端连接至具有设置在出口平面上的纵向轴线的出口部分，所述入口部分允许包含大粒子的所述等离子束以入射方向朝向所述中间部分行进，所述出口部分允许所述等离子束从所述中间部分以出射方向行进，所述中间部分被配置为使所述入射方向以超过90°的角度偏离至所述出射方向，以便当所述等离子束穿过所述中间部分时从所述等离子束中移除大粒子，其中所述入口平面与所述出口平面被设置为彼此成偏移角。